INFRA03787
2016-12-1
2375, rue de la Terrasse, Québec (Québec),G1V 0A6
david.helie@copl.ulaval.ca
Teraxion
Sophie Larochelle
note
Reactive ion etcher (RIE) Plasmatherm modèle 791
Infra recherche description
Graveur ionique réactif