Teraxion 791

Description: Graveur ionique réactif

No d'actif: INFRA03787

Note: Reactive ion etcher (RIE) Plasmatherm modèle 791

Nom du fournisseur: Teraxion

Domaine(s) d'application: Optique-photonique

Date d'acquisition: 1er décembre 2016

Département/Axe: FSG - Physique, génie physique et optique

Faculté et Centre de recherche affilié: FSG - Faculté des sciences et de génie

Regroupement(s) de recherche reconnu(s): COPL - Centre d'optique, photonique et laser

Bâtiment: Pavillon optique photonique

Adresse: 2375, rue de la Terrasse, Québec (Québec),G1V 0A6

Professeur responsable: Sophie Larochelle